Université Paris Sud École doctorale 422 : Sciences et Technologies de l’Information des Télécommunications et des Systèmes Laboratoire : GeePs Thèse de doctorat Physique par Fath Allah Amir Regroupement de techniques de caractérisation de matériaux destinés à l’énergie solaire pour optimisation et mesures industrielles soutenue le 09/07/2015 Directeur de thèse : Christophe Longeaud Directeur de recherche CNRS (GeePs) Composition du jury : Rapporteurs : Pere Roca i Cabarrocas Directeur de recherche CNRS (LPICM) Marcel Pasquinelli Professeur, Université Aix Marseille Examinateurs : Rudolf Brüggemann Université d’Oldenburg (Allemagne) Mustafa El Yaakoubi Industriel, TFSC-Instruments Christophe Longeaud Directeur de recherche CNRS (GeePs) GeePs Laboratoire de Génie électrique et électronique de Paris 11, rue Joliot Curie Plateau de Moulon 91192 Gif sur Yvette Cedex Université Paris Sud 11 Ecole Doctorale STITS Sciences et Technologies de l’Information des Télécommunications et des Systèmes Bâtiment 220 Rue Ampère 91405 Orsay cedex À mes chers parents "Nader et Maha", mes soeurs "Zukaa et Aalaa", mon frère "Ahmad", mon amour "Majd", mes anges "Nader, Omar ...", ma grande famille, mes frères et tous mes amis sans vous ma vie n’aurait pas été aussi belle. Remerciements C’est avec une profonde reconnaissance que je tiens à remercier toutes les personnes qui, de près ou de loin, ont participé à l’aboutissement de ce projet de thèse réalisé au laboratoire de Génie électrique et électronique de Paris (GeePs). À Frédéric Bouillaut et Claude Marchand l’ancien et l’actuel directeur de labora- toire : merci pour accepter de m’accueillir au laboratoire durant ces quatre années remar- quables. À Jean Paul Kleider notre chef d’équipe : merci pour m’accepter comme membre de l’équipe SCM du pôle PHEMADIC. À Christophe Longeaud mon encadrant de thèse : je ne trouve pas de mots qui peuvent exprimer mon admiration et ma gratitude pour vos compétences, votre disponibi- lité et vos qualités humaines dont j’ai énormément bénéficié depuis mon stage de Master 2 et tout au long la réalisation de ce projet. Qu’Allah vous donne ainsi qu’à votre famille toute la bonheur et la bonne santé. Je tiens à remercier Michel Police et Richard Andlauer qui nous ont aidé dans la réalisation des pièces de notre système et à régler beaucoup des problèmes que nous avons rencontré que cela soit au niveau mécanique ou électronique. Un grand merci à la société SOLSIA où ont été déposés et préparés les échantillons de silicium amorphe hydrogéné qui nous ont permis de valider notre nouveau système de mesures. Je remercie également les membres du Laboratoire PICM pour les échantillons des nouveaux matériaux (organiques et pérovskites) qui ont enrichi ce manuscrit. Je remercie en particulier son directeur Pere Roca i Cabarrocas qui a accepté en plus d’être un des rapporteurs de ma thèse. J’aimerais ensuite remercier Marcel Pasquinelli, professeur à l’université Aix Mar- seille, Rudolf Brüggemann, professeur à l’université d’Oldenburg (Allemagne), et Mus- tafa El Yaakoubi, industriel à TFSC-Instruments, pour l’honneur qu’ils m’ont fait en acceptant d’évaluer mon travail en participant au jury de ma thèse. Un grand merci à tous les membres de l’équipe SCM pour leurs conseils et leurs dis- ponibilités ainsi que la bonne ambiance que j’ai pu partagé avec eux. Un merci particulier à Aurore Brézard-Oudot qui m’a beaucoup aidé dans mes premiers pas avec LabView, à Thomas Mambrini et Federico Ventosinos mes anciens collègues de bureau et mes amis de toujours et à Raphaël Lachaume mon collègue de bureau des derniers mois, une période courte mais suffisante pour connaitre ses belles qualités scientifiques et humaines. Mes remerciement s’adressent ensuite à tous les membres de notre laboratoire GeePs qui m’ont accueilli chaleureusement depuis mon stage de M2 en 2011 jusqu’à ce jour-ci. Je pense en particulier à nos deux secrétaires, Françoise Jubin et Christine Safakhah, qui n’ont pas hésité à m’aider à chaque fois que j’ai eu un problème administratif (et j’en ai eu beaucoup!!). 6 Enfin, je remercie de tout mon cœur mes amis, mes frères et toute ma grande famille pour leur soutien inestimable et leurs prières sincères qui éclairent mon chemin. Résumé Résumé Dans le domaine des matériaux utilisés comme absorbeurs dans les dispositifs de conversion de l’énergie solaire on peut distinguer deux grandes filières : les matériaux massifs, dans lesquels domine le silicium cristallin, et les matériaux en couches minces. Ces derniers présentent de nombreux avantages par rapport aux matériaux cristallins. Un de ces avantages est que les technologies utilisées sont moins consommatrices d’énergie ce qui assure un retour sur investissement relativement rapide. En outre, ils peuvent être déposés sur de grandes surfaces. On peut citer comme matériaux le silicium amorphe hy- drogéné, les alliages CIGS ou les composés tels que le CdTe. De nouveaux matériaux sont également apparus comme les organiques ou les pérovskites. Toutefois, ils présentent l’inconvénientdedonnerdesdispositifsavecunrendementdeconversionplusfaiblequeles matériaux cristallins massifs. C’est pourquoi des recherches sont toujours en cours pour améliorer les propriétés de transport de ces matériaux afin d’optimiser les rendements de conversion des dispositifs associés. Ces recherches passent par une caractérisation des propriétés de transport en lien avec leurs paramètres de fabrication. Au laboratoire GeePs l’équipe "semi-conducteurs en couche mince" a développé de nombreuses techniques de caractérisation de ces couches minces. Parmi ces techniques, essentiellement basées sur les propriétés photoconductrices des films minces, on trouve des mesures de conductivité et photo-conductivité qui donnent aussi accès à l’énergie d’activation et au produit mobilité-durée de vie des porteurs majoritaires. On trouve également la technique de photo-courant modulé qui donne accès à la densité d’états dans la bande interdite ou bien encore une technique d’interférométrie laser (SSPG pour steady state photocarrier grating) qui donne une estimation du produit mobilité-durée de vie des porteurs minoritaires. Les générations lumineuses utilisées (DC, modulée, interférentielle) variant d’une technique à une autre, toutes ces techniques étaient jusqu’à présent réalisées sur différents bancs de mesure, certains permettant des mesures sous vide en fonction de la température, d’autres réalisant les mesures sous atmosphère et température ambiante. Durant cette thèse nous avons regroupé toutes ces techniques sur un même banc de mesure et toutes les caractérisations peuvent maintenant se faire sous vide et en fonc- tion de la température pour différentes formes de générations lumineuses. Ceci assure que les échantillons sont mesurés dans les mêmes conditions et que tous les paramètres obtenus concernent bien un même état donné du film étudié. Ceci est particulièrement indispensable pour les matériaux organiques ou les pérovskites dont les qualités peuvent se dégrader par exposition prolongée à l’air ambiant. Ce nouveau banc de mesure a néces- sité des développements mécaniques (réalisation d’un nouveau cryostat, réalisation d’un système automatique d’interférences à pas variable), techniques (utilisation d’un modu- lateur électro-optique pour produire les générations lumineuses désirées) et informatiques 8 (pilotage et contrôle de l’ensemble du système, prise de mesure automatique). Nousprésentonstoutd’abordlesdéveloppementsthéoriquesdechacunedestechniques afin de préciser quel(s) paramètre(s) on peut en déduire et leurs conditions de mesures. Puis, dans une seconde partie nous présentons les développements techniques que nous avons réalisés pour assurer de bonnes conditions de mesure. Enfin, nous présentons les caractérisations réalisées et les résultats expérimentaux que nous avons obtenus sur diffé- rents types de films minces. Un matériau a particulièrement été employé pour valider les nouvelles mesures, le silicium amorphe hydrogéné, mais nous avons également étudié des matériaux comme des pérovskites, P3HT:PCBM (organique) ou encore Sb S . 2 3 Abstract In the field of materials used as absorbers in solar energy conversion devices there are two major sectors : bulk materials in which dominates the crystalline silicon (c-Si) and thin film materials. These latters have many advantages over crystalline materials. One of these advantages is that the technologies used are less energy demanding which ensure a relatively quick payback. Furthermore, they can be deposited over large areas. Some thin films to be mentioned are the hydrogenated amorphous silicon, CIGS alloys or compounds suchasCdTe.Newmaterialshavealsoemergedasorganicblendsorperovskites.However, they have the disadvantage to lead to devices with lower conversion efficiency than c-Si. This is why researches are ongoing to improve the transport properties of these materials to optimize the conversion efficiencies of the associated devices. These researches pass through a characterization of the transport properties in connection with manufacturing parameters. In GeePs laboratory the "thin film semiconductor" team has developed many charac- terization techniques for these thin films. Among these techniques, mainly based on their photoconductive properties, one finds conductivity and photoconductivity measurements that provide also access to the activation energy and the mobility-life time product of the majority carriers. There is also the modulated photocurrent technique that gives access to the density of states in the band gap or even a laser interferometry technique (SSPG for steady state photocarrier grating), which gives an estimate of the mobility-life time product of minority carriers. The light generations used (DC, modulated, interference) varying from one technique to another, all these techniques were previously performed on different benches, some enabling temperature dependent measurements under vacuum, other making measurements under atmospheric pressure at room temperature. During this thesis we gathered all these techniques on the same measurement bench and all the characterizations can now be done under vacuum and depending on tempera- ture for different "shapes" of light generation. This ensures that the samples are measured under the same conditions and that all the parameters obtained well relate to the same given state of the studied film. This is particularly essential for organic materials or per- ovskites whose quality can be deteriorated by long term exposure to ambient air. This new bench required mechanical (construction of a new cryostat, realization of an auto- matic interference system with variable grating period), technical (use of an electro-optic modulator to produce the desired light generation) and software (control of the entire system, automatic measurement) developments. We first present the theoretical developments of each technique to clarify which pa- rameter(s) can be deduced and its measurement conditions. Then, in a second part we 9 presentthetechnicaldevelopmentswehavemadetoensuregoodmeasurementconditions. Finally, we present the characterizations performed and the experimental results we ob- tained on different types of thin films. A material was particularly used to validate the new measurements, hydrogenated amorphous silicon, but we also studied materials such as perovskites, P3HT:PCBM (organic) or Sb S . 2 3
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